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不同螺杆真空泵类型,哪种适合你【非耀】
返回列表 来源: 发布日期: 2021.01.06

螺杆真空泵,高真空,抽气量大,工作稳定,是一个更新换代的产品,为了满足不同生产制造的要求,螺杆真空泵被分为多种类型。今天我们来看下螺杆真空泵类型都有哪些吧。

螺杆真空泵类型

螺杆真空泵类型可分为内部压缩型螺杆真空泵,外部压缩型螺杆真空泵,双圆裂片式和三叶圆裂片式。基本原理非常相似,都是利用螺杆间容积的不断减小使其内部产生压缩。设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。螺杆真空泵类型外部压缩型螺杆真空泵,气体在泵体内停留的时间很短,这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,在很多复杂的半导体工艺中表现出很高的稳定性。螺杆真空泵类型双圆裂片式和三叶圆裂片设计的原理相同,区别在于旋转一圈将气体分为双份还是三份。双圆裂片设计为了达到更好的真空度对各级的间隙有非常严格的要求,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。三叶圆裂片式设计的每一个级别都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。

螺杆真空泵类型

不同的使用环境可以选用不同的螺杆真空泵类型,选择适合自己生产需求的设备才能发挥出更好的工作效率。杭州非耀真空设备有限公司螺杆真空泵,变螺距转子结构,无油无水,节能减排,生产效率提升2倍。

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