干式螺杆泵又称无油螺杆泵，无油无水干式运行的特性，在很多应用场合达到了理想的使用效果，工作容积中无油，更加耐用，可靠。那么一起来看看，干式螺杆泵应用具体都有哪些吧。

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1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。

2、干式螺杆泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用干式螺杆真空泵可以满足要求。

4、干式螺杆泵应用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止溶剂造成污染。

5、无油螺杆泵也可以用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式螺杆泵应用在多个领域中，维护少，更加省时省力，同时也减少了污染的危害。杭州非耀真空泵生产厂研发制造的螺杆真空泵，真空度高，单泵可替代三级罗茨泵水环真空泵机组，运行稳定，占地面积小。