2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统逐渐被干式螺杆真空泵所替代。

非耀无油螺杆真空泵

机械真空泵及其组成的抽气系统面临着两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。然而以上这些问题，对于干式螺杆真空泵来说都不算问题。

干式螺杆真空泵具备抽速大、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油无水环保节能等优点。干式无油螺杆真空泵由于其优越的性能，在微电子、半导体、制药等行业得到大家的认可。

无油变螺距螺杆真空泵溶剂回收机组用在医药中间体生产抽真空

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能完全解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式螺杆真空泵，则可以达到理想的使用效果。