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液环式真空泵
干式真空泵应用范围有多广【非耀】
返回列表 来源: 发布日期: 2022.04.11

干式真空泵是指泵能在大气压下开始抽气,并能直接将抽出的气体排入大气的设备。泵腔内没有油或其他工作介质。然而,在设备的使用中,许多用户并不知道干式真空泵应用范围,对此,本文将详细介绍。

干式真空泵应用

非耀干式无油螺杆真空泵

1、在低压化学气相沉积的多晶硅制备过程中,

2、半导体蚀刻工艺,在这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒;

3、对于除半导体工艺外的一些产生颗粒的工艺,不希望颗粒混入泵油中,而希望颗粒从泵中排出;

4、干式真空泵应用在化学工业、制药工业、食品工业、蒸馏、干燥、消泡、包装等方面。防止有.机溶剂造成的污染,适用于真空泵;

5.用作一般无油清洗真空系统的前级泵,防止油污染。

干式真空泵应用

LGB70无油螺杆真空泵用在有机硅生产工艺

以上是干式真空泵应用范围的介绍,根据介绍,我们可以清楚地了解设备的使用和选择,从而更好地实现使用效率,避免对设备造成任何损坏。非耀是一家干式螺杆真空泵厂家,生产的干式真空泵型号齐全,提供干式真空泵选型服务,为用户分忧。

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