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半导体产线对真空洁净度、负压稳定性有着极致严苛要求，传统油封泵、水环泵易出现油雾返流、腐蚀卡泵、压力波动大等问题，严重影响晶圆良率。螺杆真空泵凭借专属设计，成为半导体产线升级刚需设备，为企业提质、降本。
LGB70无油螺杆真空泵用在有机硅生产工艺
螺杆真空泵结构是其核心优势，泵腔全程不添加润滑油，从根源杜绝油蒸气污染晶圆与镀膜层，完美匹配半导体无尘车间洁净标准，大幅降低芯片杂质报废率。设备过流部件采用防腐涂层与不锈钢材质，可耐受氟化物、氯化氢等腐蚀性工艺尾气，搭配前置过滤装置，能处理微量粉尘颗粒，长期运行不易堵塞、腐蚀失效。
螺杆式真空泵抽速可调、真空度稳定，压力波动极小，可快速建立制程所需负压，缩短腔体抽气等待时间，有效提升产线流转效率。变频节能设计适配双碳新国标，相比老旧泵组能耗显著降低，无废油、废水排放。
螺杆真空泵非接触式运转，易损件少，维护周期长达数千小时，无需频繁更换机油，大幅减少停机检修时间，24小时连续量产无压力。我们是一家实体工厂，可根据工况环境定制真空机组，上门服务。
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