罗茨真空泵应用在清洁或腐蚀性工艺中，比如半导体、LCD、光伏太阳能电池以及某些工况条件非常苛刻的化工行业，大都是采用罗茨真空泵与干式真空泵所组成的罗茨真空泵真空机组，一方面可以提高真空机组的抽速，另外真空系统的真空值亦可以提高一个数量级。

根据罗茨泵的抽气机制，由于它既不需要润滑亦不需要密封介质，从原则上来说应该是无油的。但是罗茨真空泵的转子需要由轴承来支撑和精.密的同步齿轮来传动。这些轴承和齿轮均需要润滑油。当罗茨真空泵应用在抽除腐蚀性气体或蒸汽时，真空泵润滑油亦会受到侵蚀。

目前罗茨真空泵应用越来越广泛，也使得真空泵行业的发展更加迅速，真空泵生产厂家增多，产品质量参差不齐。杭州非耀真空泵厂家生产的罗茨真空泵，运行稳定，使用20000小时无故障，免维修，降低使用成本，提高收益。