山东螺杆真空泵在真空泵行业中是较好的产品,在工厂上也是随处可见。无油螺杆真空泵的工作效率高,且干式螺杆真空泵的功能较全。那么螺杆真空泵具体的功能特性有哪些呢?
山东螺杆真空泵乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果,压力高。螺杆真空泵由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。
山东螺杆真空泵承袭上一代真空泵优良的转子设计,同时改良壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更准确地控制螺杆泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加螺杆泵的寿命。
山东螺杆真空泵亦可配备微电脑控制器,可同时监控电机电流、电机温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求较高之产业。如果您也有这方面的需求,欢迎致电非耀咨询。