螺杆真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的作用，吸入并排出被抽气体而形成高真空。无油螺杆真空泵螺杆轮廓型线是由阿基米德螺旋线和摆线曲线及圆弧等构成。

非耀螺杆真空泵

      在螺杆旋转时，二个螺杆之间、螺杆和无油螺杆真空泵泵体之间都保持一定的间隙且互不接触，因而运转时泵的摩擦损失很小，摩擦消耗功率小，且可以实现高转速运转，被抽气体被平顺地压送到排气口并排至泵外。通过泵二侧的密封机构确保齿轮箱内的润滑油无法进入泵的吸气腔内。泵与电机均为卧式结构，泵采用联轴器与电机直联，整机安装在同一机架上。为了减少泵的排气噪声，泵的排气口装有消声器。

      无油螺杆真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

      1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

      2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

      3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；

      4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止溶剂造成污染，适合用无油螺杆真空泵；

      5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

无油螺杆真空泵用在化工减压蒸馏

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